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美光科技將引入極紫外光刻機,2024 年部署到部分工藝節點

  7 月 2 日消息,據國外媒體報道,在 2021 財年第三財季的財報分析師電話會議上,美光科技 CEO 兼總裁 Sanjay Mehrotra 透露,他們將引入極紫外光刻機。

美光科技將引入極紫外光刻機,2024 年部署到部分工藝節點

  從 Sanjay Mehrotra 在財報分析師電話會議上透露的消息來看,美光科技是計劃 2024 年,在部分工藝節點部署極紫外光刻機,隨后擴大到更多工藝節點。

  Sanjay Mehrotra 還表示,他們一直在關注極紫外光刻機的進展,他們其實也在評估引入極紫外光刻機。

  事實上,美光科技此前就曾表示他們將引入極紫外光刻機。Sanjay Mehrotra 在會上就提到,他們曾多次表示,當他們認為極紫外光刻機平臺及生態系統變得更成熟的時候,他們就將在適當的時間點引入極紫外光刻機。

  值得注意的是,美光科技并不是首家引入極紫外光刻機的存儲芯片制造商,SK 海力士就已在他們的 M16 工廠安裝極紫外光刻機,在 2 月份就開始試生產 1anm 的 DRAM,預計在今年 7 月份開始大規模生產。

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