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ASML柏林工廠火災(zāi)后續(xù):EUV光刻機生產(chǎn)交付受影響

  全球半導(dǎo)體產(chǎn)能緊張持續(xù)一年了,芯片擴產(chǎn)需要包括光刻機在內(nèi)的重要設(shè)備,結(jié)果前幾天全球最大光刻機巨頭ASML在德國的工廠遭遇火災(zāi),官方表示還要幾天才能評估損失,但是現(xiàn)在可以確定主要是EUV光刻機生產(chǎn)會受影響。

ASML柏林工廠火災(zāi)后續(xù):EUV光刻機生產(chǎn)交付受影響

  ASML旗下的這家公司位于德國柏林,前身是Berliner Glas,ASML公司2020年才收購了這家公司,它們的營收額并不高,但生產(chǎn)的是光刻機中的一種重要部件,可以用于光刻機及晶圓之間的接口,需要有納米級別的操作精度,可以說是小而精了。

  根據(jù)ASML的消息,雖然評估是否影響今年的光刻機交貨還有點早,但這次事件影響的主要是EUV光刻機生產(chǎn),DUV光刻機不受影響。

  EUV光刻機是生產(chǎn)7nm以下工藝的關(guān)鍵設(shè)備,ASML是全球唯一的EUV光刻機供應(yīng)商,每臺售價1億歐元,將近10億人民幣,去年交付了35臺EUV光刻機,今年計劃交付55臺EUV光刻機,三星、臺積電及Intel是主要的客戶。

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