12 月 15 日,在 2021 年中國半導體設備年會暨重慶半導體產業創新發展論壇(第九屆)上,中國電子專用設備工業協會常務副秘書長金存忠發表了題為《中國半導體設備回顧與展望》的演講。
金存忠指出,2020 年,特如其來的新冠肺炎疫情使中國半導體設備行業經歷了前所未有的挑戰,而在中國迅速戰勝了疫情,中國半導體設備行業在國內投資的集成電路生產企業量產后加速擴產和國家光伏發電政策的推動下,獲得了較快的發展機遇,呈現了繼續快速發展的態勢。
據中國電子專用設備工業協會統計,中國大陸 56 家主要半導體設備制造商在 2020 年完成半導體設備銷售收入 242.90 億元,同比增長 38.7%;總利潤為 51.92 億元,同比增長 80.5%。其中,集成電路設備總銷售收入為 96.77 億元,同比增長 59.0%。
金存忠表示,2020 年中國半導體設備銷售收入前 10 家單位完成銷售收入 192.12 億元,占 56 家半導體設備制造商銷售收入總額的 79.1%。在前 10 家單位中,北方華創以 43.91 億元的銷售收入排在第一位,同比增長 54.5%。

在 2021 年上半年的銷售收入排名前 10 的半導體設備公司中,北方華創仍然以 27.35 億元排在首位。另外,華峰測控也以 3.24 億元的銷售收入躋身前 10 榜單。

金存忠表示,國產設備不僅銷售額和利潤正在快速增長,在創新層面也不斷有新的產品進入產業化階段,例如北方華創的 12 英寸電感道等離子體干法金屬刻蝕機、盛美股份的 3D 硅通孔電鍍設備、中微股份的深紫外 LED MOCVD 設備等。

不過,金存忠也指出,國產設備在全球范圍內市場占有率仍然較低,且在國內的市占率提升緩慢。2020 年中國半導體設備(56 家)在全球市場占有率僅為 5.2%,在中國大陸市場占有率也只有 17.3%,與 2019 年基本相同。
另外,國產設備在集成電路關鍵領域仍需依賴進口。金存忠表示,雖然已經有國產光刻機研制成功,但相關產品目前尚未進入集成電路晶圓量產生產線。而在已經進入晶圓量產生產線的國產設備中,晶圓制造量測設備、化學氣相沉積設備、離子注入機、引線鍵合設備、探針測試臺與國際同類設備都還有較大差距,市場占有率較低。
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